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壓電物鏡NF100LA采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)物鏡掃描臺(tái),內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的柔性較鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),確保了掃描臺(tái)優(yōu)秀的運(yùn)動(dòng)精度。
體積小、結(jié)構(gòu)緊湊 超高真空微型光柵尺SMG26特點(diǎn),體積小,結(jié)構(gòu)緊湊,適用于超高真空使用,良好的耐高溫性,最高可達(dá)100℃,SMG26系列光柵的柵距為256μm,下表為不同細(xì)分倍數(shù)下的允許速度值,精度高,絕對(duì)精度3μm(20℃)
線性壓電納米位移臺(tái)ML-37A,大行程直線位移臺(tái),不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境,是小空間內(nèi)大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產(chǎn)品。支持定制納米位移臺(tái)。
多種旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高精度及高分辨率的開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制,適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
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