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低溫液氮探針臺(tái) LN-4H-06產(chǎn)品主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺(tái)、進(jìn)口分子泵組、全旺程真空規(guī)、智能溫控儀等組成。

手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)，可測(cè)試晶圓尺寸:最大4英寸樣品臺(tái)行程:100mm*100mm移動(dòng)分辨率:~0.1mm樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)范圍:360度低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax 輸出可選 400 度高溫樣品臺(tái)

ZP3-4 微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂，每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口，可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng)。

SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡(jiǎn)單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。

室溫半自動(dòng)探針臺(tái) TZ-H-06室溫自動(dòng)探針臺(tái)，高可靠性探針臺(tái)系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子， 電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMs，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

干式液氦溫區(qū)探針臺(tái) LHe-6H-06產(chǎn)品特點(diǎn)，真空腔體：真空度優(yōu)于610-4 Pa。降溫后優(yōu)于610-5 Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）。